SuperViewW白光干涉晶圓3D形貌測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
CEM3000系列納米級成像掃描電鏡運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測需求。
CEM3000系列毫米級景深掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。
中圖儀器NS系列探針式電池薄膜臺階厚度儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
中圖儀器SEM掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非??旖莸剡M(jìn)行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列桌面式能譜掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,具有高空間分辨率。
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